第134章接受军方任务
第134章接受军方任务(第3/3页)
,她侧身让出操作台的位置,示意技术员上前实操观摩。
暖黄灯光落在她洁净服肩头,沉稳的嗓音在机器嗡鸣中清晰传开,耐心拆解每一处操作细节。
“接下来调整两组关键参数。第一,把氧化炉恒温区间上调三摄氏度,延长二十分钟恒温保持时间,让栅氧层生长得更均匀致密,从根源减少边缘毛刺。
第二,降低离子注入速率,放慢掺杂进度,宁可慢一点,也要保证整片硅片的掺杂浓度均匀统一,杜绝局部偏差。”
两名技术员连忙上前,一人紧盯仪器表盘记录参数,一人俯身核对显微镜下的管芯状态,紧绷的神经渐渐松弛。
苏砚一边紧盯设备运行状态,一边趁热打铁,纠正团队固化的老工艺思维。
“大家要记住,我们现在是在成熟的dtl工艺线上,硬生生开拓mos集成电路的量产路径,不是简单的参数微调,而是工艺体系的革新。
以往进口零散ic参数杂乱、没有统一标准,我们现在每一次精准调试,都是在搭建属于我们自己的国产工艺规范。”
她抬手拿起一片调试合格的硅片,举到灯光下,薄如蝉翼的硅片泛着清冷细腻的光泽,规整均匀的电路纹路清晰可见。
“你们看,合格的pmos小规模集成电路,线条平直无毛刺、掺杂均匀无偏差,这就是我们要落地的量产标准。
后续我们制定的逻辑ic、运算放大器国产规范,就要以这套工艺参数为基准,彻底摆脱对进口芯片的依赖,优先保障军用电台、精密仪器仪表的核心供给。”