第134章接受军方任务
第134章接受军方任务(第2/3页)
分钟后就返回。
曹主任也没有二话，开车带着苏砚直奔国营光东工厂。
在曹主任的陪伴下，这里没有任何人为难看起来就很年轻的苏砚，大家都客客气气接受她的指导。
国营光东电工厂超净车间密闭无尘，恒温系统持续运转，滤尘设备发出细碎平稳的嗡鸣，消解了所有多余的声响。
整间车间笼罩在半导体工艺专用的暖黄色安全灯下，褪去了刺眼的白光，只为保护光刻胶涂层不受光线干扰。
空气里浮动着高纯氮气、光刻胶与有机溶剂交织的清冷淡味，每一寸空气都经过层层过滤，连飘落的微尘都近乎绝迹。
身着全套白色洁净服的众人包裹得严严实实，头罩、口罩、无菌手套、无尘鞋缺一不可，只露出一双双凝神专注的眼睛，在暖黄灯光下熠熠生辉。
苏砚伫立在光刻工艺操作台旁，身姿挺拔沉稳。
连日扎根车间通宵调试，她的眼底藏着淡淡的青黑，眉眼间却没有半分疲态，只剩极致的专注与笃定。
面前的操作台一尘不染，整齐摆放着待测试的硅片、精密镊子、刻度记录本与调试工具，页面上密密麻麻写满了迭代数百次的工艺参数。
栅氧生长温度、扩散炉恒温时长、光刻对准误差、源漏掺杂配比，每一组数据都是她依托成熟的dtl双极工艺，反复推翻、反复调试摸索出的关键依据。
身旁两名年轻技术员正俯身紧盯显微镜，反复核对刚出炉的pmos管芯切片，神情紧绷，眉宇间藏着一丝焦灼。
这段时间，他们最大的难题始终是栅极边缘毛刺、局部掺杂不均，屡屡拉低硅片成品率，好几次即将成型的工艺参数，都因这两处瑕疵功亏一篑。
年轻技术员压着心底的忐忑，轻声汇报，声音被口罩闷得低沉含糊。
“苏工，这批试样还是老问题。光刻显影后，栅极线条边缘不够平滑，有细微毛刺，而且部分片区掺杂浓度偏差超标，达不到量产标准。
我们按照原dtl工艺参数微调过几次，偏差反而更大。”
苏砚闻言没有立刻开口责备，只是微微颔首，抬手微调显微镜焦距，动作轻柔稳当，力道精准分毫不差。
她俯身凑近目镜，目光沉沉落在微小精密的管芯结构上，细细观察纹路、涂层与掺杂层次，几秒后便精准摸清了问题根源。
她直起身，指尖轻点记录本上的两组核心参数，语气平稳温和，却带着不容置疑的专业底气，字字清晰、条理分明。
“dtl是双极工艺，和我们现在攻坚的pmos工艺底层逻辑完全不同，不能直接套用老参数。
双极工艺侧重电流放大，而pmos核心在栅氧层的均匀度和可控性，生搬硬套只会出现边缘畸变、掺杂失衡。”
说着
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