第134章接受軍方任務
第134章接受軍方任務(第3/3頁)
,她側身讓出操作臺的位置,示意技術員上前實操觀摩。
暖黃燈光落在她潔淨服肩頭,沉穩的嗓音在機器嗡鳴中清晰傳開,耐心拆解每一處操作細節。
“接下來調整兩組關鍵參數。第一,把氧化爐恒溫區間上調三攝氏度,延長二十分鐘恒溫保持時間,讓柵氧層生長得更均勻致密,從根源減少邊緣毛刺。
第二,降低離子註入速率,放慢摻雜進度,寧可慢一點,也要保證整片矽片的摻雜濃度均勻統一,杜絕局部偏差。”
兩名技術員連忙上前,一人緊盯儀器表盤記錄參數,一人俯身核對顯微鏡下的管芯狀態,緊繃的神經漸漸鬆弛。
蘇硯一邊緊盯設備運行狀態,一邊趁熱打鐵,糾正團隊固化的老工藝思維。
“大家要記住,我們現在是在成熟的dtl工藝線上,硬生生開拓mos集成電路的量產路徑,不是簡單的參數微調,而是工藝體係的革新。
以往進口零散ic參數雜亂、冇有統一標準,我們現在每一次精準調試,都是在搭建屬於我們自己的國產工藝規範。”
她抬手拿起一片調試合格的矽片,舉到燈光下,薄如蟬翼的矽片泛著清冷細膩的光澤,規整均勻的電路紋路清晰可見。
“你們看,合格的pmos小規模集成電路,線條平直無毛刺、摻雜均勻無偏差,這就是我們要落地的量產標準。
後續我們製定的邏輯ic、運算放大器國產規範,就要以這套工藝參數為基準,徹底擺脫對進口芯片的依賴,優先保障軍用電臺、精密儀器儀表的核心供給。”