第452章鵲橋
第452章鵲橋(第2/5頁)
用光譜儀實時監測等離子體的狀態,然後微調氣體流量或射頻功率,以補償刻蝕速率的漂移。
這個反饋頻率可能達到毫秒級,但它修正的是化學環境,不是直接修正光學焦距。”
梁孟鬆用手指指了指仿佛存在辦公室空氣中的cg-1光刻機:“但現在我們麵對的是什麼?是cg-1的超構透鏡。
這套係統對溫度和振動的敏感度極高,一個微小的氣流變化,都會在微秒級的時間內導致幾納米到幾十納米的焦點漂移。
我們的動態補償係統,必須在微秒級內完成:數據采集到預測模型計算再到微致動器物理移動的全過程。
這要求致動器本身具有超低延遲、超高精度的響應能力。
傳統半導體設備上的致動器,根本達不到這個速度和精度要求。
這其中不僅僅需要算法上的革新,同樣需要設備層麵的革新。”
梁孟鬆語速很快,話題跳躍的同樣很快,聰明人之間的交流就是要更輕鬆。
梁孟鬆最後的話語帶著強烈的工程警告意味:“cg-1的超構透鏡的物理特性,意味著它的補償路徑,比傳統光刻機更複雜、更非線性。
這套係統是人類在duv上的極限嘗試,它的不穩定性是內生性的,而不是簡單的外在乾擾。
我們等於是要製造一個能預知自己‘失衡’,並在失衡發生前就完成‘平衡’的超級複雜係統!”
他看向林燃,總結道:“林總,從難度上來說,這件事的難度甚至要比我們過去從零開始eda軟件還要難得多。
這個鴻溝,遠遠不是cmp或刻蝕那種級彆的動態修正可以相比的。”
林燃點了點頭:“當然,我當然知道,你知道的,我同樣知道。
想要獨立於整個西方世界做出一整套的半導體生產製造體係,這本身就是在做一件不可能完成的事情。
這當然很難,可問題是,這是我們現在能迅速達到5nm最可能的路徑。
從五十年代到現在,我們一路都是這樣走過來的。”
林燃的話充斥著巨大的自信,難又怎麼了?乾就完事了。
他最後總結道:“算法上的問題交給我解決,無論多難的模型,我一定會給你找到那個合適的解,工程上的問題交給你,你需要做的就是整合國內現有的資源,國外能買到的資源,從工程上去實現它。”
梁孟鬆站起身,伸出手,在握手的時候,他隻說了一個字:“好。”
這位所謂臺積電的叛將,將給臺積電帶來真正意義上的致命一擊。
2026年的第一天,阿波羅科技的直播間,和往常不同,今天這裡是林燃親自開直播。
林燃坐在自己的辦公室,身後就是一麵白牆,什麼書都冇放。
辦公桌上倒是略顯淩亂,各種文件擺
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