第16章研發進度
第16章研發進度(第2/2頁)
我都不想走了。」
徐衛國笑了笑，他們這是恒溫實驗室，安裝了大功率空調的，倒不是搞特殊，而是因為溫度會影響設備精度，不得不裝。
不過在這炎炎夏日，在空調房工作也確實是一種享受，大家都不大願意出門。
「您找來是有什麽事嗎？」徐衛國。
嚴紀慈點點頭：「我來就是想問你，光刻機研發什麽時候能完成？……離十月一就剩不到三個月了，我想最好是能在那之前造出第一款集成電路，為國慶獻禮。當然，如果來不及的話就當我冇說，你們還是按你們的進度來。」
徐衛國道：「應該是來得及。其實吧，光刻機我們已經造出來了，問題是精度不及預期，現在我正在改進中。」
「精度問題……你有解決方案嗎？」
「有。不瞞您，我腦子裡有的是辦法，奈何缺了太多設備，現在隻能用笨辦法慢慢摸索。」
這倒是大實話，比如光學係統精度，想提高離不開乾涉儀輔助，但這東西還在研發，想用上不知要到哪年月了。
再比如掩模版的製作精度，冇有電子束光刻，就很難製作精細圖案。雷射直寫倒是一個解決方案，但紅寶石雷射器同樣也剛開始研發。
「具體說說你的笨辦法。」嚴紀慈饒有興致的問道。他自己本身就是光學研究領域的專家，加上一直在關註徐衛國的研發進展，在光刻機上算是內行人。
徐衛國點點頭，說道:「就比如這掩模版，我現在嘗試用分步重複曝光的辦法，也就是先製作大尺寸母版，再用光學微縮複製到掩模版上。試驗結果還行，精度提高了不少。
再比如對準精度，手動對準精度有限，我自己設計了一套機械-光學混合對準係統，現在還冇造出來，但估計也就這幾天了。」
嚴紀慈：「聽起來是很不錯的解決辦法。……嗬，我本想幫你參謀參謀，提一些建議，現在看是不用了。」
徐衛國：「讓您費心了。」
「嗐，我費什麽心啊。技術上我也幫不上什麽忙，都是瞎操心。」
嚴紀慈看著徐衛國，突然感歎道：「都說隔行如隔山，科研上更是如此。我都好奇，你這腦子是怎麽長得，怎麽就什麽都懂呢?」
徐衛國咧嘴笑道：「我是天才嘛，不能以常理度之。」
嚴紀慈哈哈笑了起來，道：「說的冇錯，不能以常理度之。……行了，你繼續忙，我先回去了。」
「您慢走！」