第244章流片数据出炉，光刻机主体成功
第244章流片数据出炉，光刻机主体成功(第5/5页)
进房间，便迫不及待开口汇报。
「徐总师，各位院士领导。」
「晶圆片的光学测量数据结果出来了————」
「直接讲吧。」徐铭闻言立刻出声，把对方的话给打断。
而这个时候，那位科员人员也没有耽搁，仅短暂顿了一秒，忙详细讲出报告中的数据。
「根据测量结果显示，逐光解析度完全达标，光学成像能力优秀，各层图案对齐良好，另外光刻机的机械精度达到预期。」
当徐铭以及贺鹏涛和丁顺安，等微电子装备科研人员，听完这番话后，原本悬著的心总算彻底放下，证明逐光国产极紫外光刻机主体研发成功。
标志著国内终于拥有了，百分之百国产化的，高端极紫外光刻机。
不过大家并没有在这个时候鼓掌庆祝，反倒是强压住心中激动，继续听后面的其他流片数据项目结果。
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