第231章历史性时刻,命名逐光【二合一求订阅】
第231章历史性时刻,命名逐光【二合一求订阅】(第3/7页)
十几年的弯路。」丁顺安也没沉默。
面对两位院士的如此称赞,徐铭反应更快,连忙出声回应。
「两位院士言重了,既然这个担子交给我,那我自然会尽最大努力做好。」
「何况后面还有更重要的工作,需要我们大家完成。」
把热烈氛围推向高峰。
接下来的时间,实验室交给了潘耀负责。
继续进行光源实验,好记录更加详细的数据,用于之后极紫外光刻机核心光源系统的组装。
徐铭则和贺鹏涛与丁顺安两位院士,来到办公室安排后续工作。
「下一步我们微电子装备,就会正式把新的极紫外光源技术,应用到光刻机的核心光源系统上,另外双工件台控制系统和计量检测系统,也都在同步的攻坚中,这些年集团的研究可不是一点成果没有。」
办公室内丁顺安首先发言,在讲到最后一句时,能感受到话语中的自信。
春城光机所擅长光刻机的核心光源系统,微电子装备却是主攻其他部件技术o
尤其作为国产光刻机主力研发团队,肯定在部分领域也有著独到之处,甚至并不落后海外技术多少。
如今最困难的极紫外光源被顺利解决,就好比在两截道路中间的大山中,打通了一条可通行的隧道,当车辆全速行驶起来,距离终点站又岂会远。
贺鹏涛虽来自春城光机所,但对于微电子装备方面的研究还是比较认可的。
尤其现在还进行了资源整合。
闻言也当即讲出自己的看法和决心。
「眼下我们有了极紫外光源,并且还是比轰击锡滴更加高效容易的技术,根据国内技术整体评估,我看最多两年时间,就能成功组装出首台国产极紫外光刻机。」
「阿斯麦公司的新一代极紫外光刻机,恐怕也会在两三年时间内发布。」丁顺安想到什么接过话茬补充。
贺鹏涛笑呵呵回复句。
「那就刚好比一比,看看谁的极紫外光刻机,综合性能更加领先。」
徐铭听完两人的对话,嘴角也不由得微微上扬,对阿斯麦公司的光刻机,还真涌现出些许期待。
他也想看看,采用了全新物理现象理论,研发出的极紫外光刻机究竟能达到何种水准。
估摸著拿下阿斯麦在行业中的地位,恐怕不会太难。
思维思忖至此,他很快轻微摇了下头,暂时把这件事抛在脑后,主动提起接下来的正事。
「后续极紫外光刻机的研发,就还拜托贺院和丁院来坐镇负责了,如果遇到什么技术瓶颈的话,随时通知我参加研讨会商议解决方案。」
「等璇玑系统的开发稳定后,我会多关注这边的。」
目前全新随机几何分析框架的构建,正值最后的关键几个证明步骤。
等完成此理论,便能正式著手开
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