第254章晶片突破:国产光刻机问世
第254章晶片突破:国产光刻机问世(第2/3页)
云推了推金丝眼镜。
「它印的是咱们国家的命。」
机器周围,站着上百个穿着防尘服的华夏科研人员。
他们大多头发花白,身形佝偻。
看到李青云走进来。
一个戴着厚底眼镜丶失去了一只左眼的老人,颤巍巍地迎了上来。
这是华夏半导体领域的泰斗,吴院士。
当年为了搞研发,左眼被炸飞的废片刺瞎。
「李董。」
吴院士一把握住李青云的手。
老人的手在剧烈颤抖,掌心全是冷汗。
「我搞了四十年的半导体。」
「去美国交流的时候,人家把我们当叫花子防着,连个废弃的镜头都不让我们看。」
吴院士的声音哽咽了,眼泪夺眶而出。
「他们说,华夏人这辈子也造不出光刻机!」
他猛地转过身,指着那台散发着幽蓝光芒的巨兽。
嘶吼出声。
「今天,我们造出来了!」
「纯国产!28纳米浸没式光刻机!」
「光源丶物镜丶双工件台,全部用的我们自己的材料!」
整个实验室里,哭声一片。
无数老科学家抱头痛哭,跪在地上亲吻着冰冷的防静电地板。
太憋屈了。
被西方卡脖子卡了这麽多年,连做梦都被那条看不见的锁链勒得喘不过气。
今天,这条锁链,断了。
李青云反握住吴院士的手,微微用力。
「吴老,不用哭了。」
李青云目光如炬,扫过全场。
「从今天起,该哭的,是他们。」
大卫捧着一个绿色的启动终端,走到李青云面前。
「老板。」
「就差您按下这个键了。」
大卫的眼神狂热无比。
「第一枚晶片的图纸已经导入,等待曝光。」
所有人的目光,瞬间聚集在李青云身上。
李青云没有犹豫。
他修长的手指,稳稳地按在了绿色的启动键上。
「嗡——」
整个地下实验室发出一声沉闷的轰鸣。
巨大的变压器全功率运转。
光刻机内部的arf准分子雷射器瞬间点亮!
一束193纳米的深紫外光,经过几十枚高精度稀土镜片的折射丶缩放丶聚焦。
穿透掩膜版。
精准地轰击在涂满光刻胶的矽片上。
机械臂快速移动,双工件台完美配合。
曝光。
显影。
刻蚀。
三分钟后。
指示灯变绿。
机械臂夹着一片十二英寸的晶圆,缓缓送出舱口。
吴院士戴着白手套,像捧着刚出生的婴儿一样,将晶圆放进高倍电子显微镜下。
画面同步投射到实验室的巨型屏幕上。
所有人屏住了呼吸。
屏幕上。
出现了一座纳米级别的丶由无数电路组成的宏伟城市。
线条笔直,边缘锐利。
没有一丝断点。
在晶片最核心的角落里。
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