第502章星海矿场
第502章星海矿场(第2/7页)
束在偏转磁铁区域的运动轨迹出现了微米级的震荡,导致末端输出的极紫外光斑能量分布不均。”
旁边的年轻助手小张盯着控制台屏幕上剧烈波动的数据曲线,紧张地汇报道。他的额头上渗出了细密的汗珠。这套庞大的系统一旦失控,不仅会烧毁前端的光学透镜,甚至会导致加速器内部的真空管破裂。
周磊没有惊慌,他双手撑在控制台上,眼睛死死地盯着那些代表着微观粒子运动轨迹的三维模拟图。
“电子束能量现在是多少?”周磊沉声问道。
“已经加速到二点五吉电子伏特!环形电流达到了三百毫安!”小张大声回答。
在这个环形管道里,华夏的科学家利用庞大的电网能量,将无数个电子加速到了接近光速。当这些接近光速的高能电子在超导磁铁的强磁场作用下,被迫改变直线运动方向进行转弯时。
根据客观的电磁学定律,它们会沿着轨道的切线方向,喷射出一种亮度极高、方向性极强、波谱连续的电磁辐射。
这就是同步辐射光。
这种光,就像是一台超级巨型x光机发出的探照灯。它不仅包含了西方光刻机那种微弱的极紫外光,而且在能量强度、光束纯度和连续性上,呈现出千万倍的绝对碾压。
西方人是在黑暗中用打火机照亮硅片,而华夏,是在地下深处直接造了一个微型太阳。
“启动四极磁铁的微调补偿线圈。把震荡频率压回去!”周磊果断下达指令。
“调整冷却系统的液氦流量。磁铁线圈温度不能超过超导临界值。必须保持绝对的强磁场压制。”
小张在键盘上飞速敲击,输入了一连串补偿代码。
地下管网中,高压液氦在管道内发出低沉的嘶鸣。超导磁铁的磁场强度瞬间增加。
几秒钟后,屏幕上的电子束轨迹重新变得平滑而稳定。那种高频的微米级震荡被强行抹平了。
“轨道稳定。辐射光能量峰值锁定在十三点五纳米波长。”小张长长地出了一口气,瘫靠在椅子上。
周磊摘下护目镜,揉了揉发涩的眼角。
他转过头,看向隧道另一端延伸出去的十几个光束引出端口。
这才是华夏这项工程最恐怖的降维打击之处。
一台西方的euv光刻机,造价高达两亿美元,一次只能处理一片晶圆。
而华夏的这座同步辐射光源工厂。它产生的极紫外光,强度大到不可思议。这束庞大的光芒,通过复杂的光学分束系统,被均匀地切割成十几个、甚至几十个独立的光源分支。
每一个引出端口的后面,都连接着一条完全自主设计的全自动晶圆曝光流水线。
不需要极其复杂的激光打靶系统,不需要昂贵且极易损坏的反射镜组。
有了这近乎无限、稳定且
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