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第1013章我吃的就是兄弟!青春永驻?行!延寿不行!

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第1013章我吃的就是兄弟!青春永驻?行!延寿不行!(第1/5页)

第1013章我吃的就是兄弟!青春永驻?行!延寿不行!

庐州,星源科技总部。

洁净室入口的空气锁在发出低沉的「嘶啦」声,待气压平衡后,厚重的玻璃门缓缓向两侧滑开。

所有人都换上了全套无尘服,陈延森第一个跨进去,身后跟著梁劲松、林南、汪象朝,以及两名高级光学工程师。

一进主工艺间,整片区域便被昏黄的灯光所笼罩,这是euv光刻机专用的黄光环境,避免常规白光对光刻胶造成非预期曝光。

大厅正中,三台破晓a3xeuv光刻机一字排开。

它的机身比上一代a220更高、更长,主体采用深灰与哑光黑的撞色设计,表面几乎看不到外露的管线与接头。

机器顶部的环形散热带微微发亮,内部的冷却液正在持续循环,从而带走光源工作时产生的巨大热量。

陈延森在三米外站定,望著机身表面印刷的两个字,不由地怔怔出神。

三年前,全球九成以上光刻机的外壳上都印著「asml」的品牌名,如今则全都换成了「破晓」。

这份从追赶至超越的滋味,恐怕只有深耕半导体行业的人,才能真正体会到。

这几年,星源科技的工程师拿著高额出差补贴,奔赴欧美各地,为破晓光刻机安装调试、提供售后,也算亲身体验了一把当年欧美工程师的待遇。

甭管设备出什么问题,厂家都得开出高价、包往返机票与住宿,才能享受到合同约定的检修服务。

敢私自拆机?

合同立刻终止!

哪怕设备只移动一米,都必须提前报备,否则系统会直接远程锁机。

在光刻机领域,星源科技但凡轻咳一声,全球所有晶圆厂都得跟著震一震。

「老板,这就是一号机。」

梁劲松上前半步,指著面前的设备说道:「上周五完成了最后一次全系统自检,各子系统均绿灯通过,目前已累计运行时长超120小时,无任何故障提示。」

陈延森微微点头,目光落在设备底座的减震平台上。

底座采用特制花岗岩与碳纤维复合结构,平台边缘镶嵌著一圈细密的雷射干涉仪,可实时监测整机姿态,精度达到亚纳米级。

再往上,是锡等离子体光源腔。

腔体外壁密布著高压氙气放电管与辅助磁约束线圈,透过观察窗,仍能看见内部残留的一圈圈幽蓝辉光。

「光源的collector镜组,有没有出现镀膜剥落?」

陈延森忽然开口问道。

梁劲松立即答道:「没有!我们将第四代collector镜的钼矽多层膜厚度优化到了68.4纳米,驻波效应抑制效果大幅提升。

上一批连续轰击测试中,累计辐照剂量达到设计寿命的1.8倍,膜层反射率衰减仅

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