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第650章掩膜台双核心技术难点?给我破!章

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第650章掩膜台双核心技术难点?给我破!章(第3/4页)

不是恒定的,比如气浮组件的压力波动,有时候是高频小幅度的,有时候是低频大幅度的。

你之前用的是固定增益的卡尔曼滤波器,自然没法兼顾速度和精度,可以加个自适应增益模块,让滤波器自己判断扰动类型。

高频小扰动时,把增益调大,加快响应;低频大扰动时,降低增益,减少误差。

我昨天做了组仿真,用这个逻辑,响应时间能控制在10毫秒以内,误差能稳定在20纳米以下,你今天试试这组参数。”

章延杰眉心深蹙,过了好一会儿,才拍着大腿喊道:“对啊!我怎么没想到要分扰动类型调整增益!”

有些技术障碍,其实就像一层窗户纸,一捅就破。

可要是没人点拨,说不定就得在门口绕上数月、乃至数年的弯路。

听到动静,周围几个埋头干活的研发工程师也围了过来。

清华自动化系的李拓扑指着图上的模块问道:“这个自适应增益的阈值该如何设定?如果对扰动类型判断失误,会不会反过来影响精度?”

其他几人的脸上,同样带着好奇。

陈延森微微颔首,拉过一把椅子坐下,直接用章延杰的电脑调出了一组实验数据:“可以用前500毫秒的扰动数据做特征提取,比如频率超过100hz、幅度小于0.5纳米的,归为高频小扰动;

频率低于50hz、幅度大于1纳米的,归为低频大扰动,中间模糊地带的,用加权算法平衡增益,这样判断准确率能达到98%以上,基本不会出错。”

几名来自清华自动化系的教授听后,眼前一亮,不由地咽了咽口水。

哈工大的几位博士面面相觑,眼中闪过一抹震惊之色。

与陈延森接触的越多,就越能感觉到世界的参差、人与人之间的差距,以及自身能力的渺小。

章延杰暗暗叹了一口气,他心里清楚,若没有陈延森,他们这伙人即便凑在一起钻研,在运动控制算法的研究上,恐怕也很难有什么进展。

正说着,轴承组的一名科研人员捏着一份检测报告跑了进来,脸上满是兴奋:“陈总,气浮导轨的测试结果出来了!这款陶瓷气浮轴承的平面度误差控制在了30纳米,比之前用的进口轴承还低5纳米,而且经过24小时连续运行测试,温升只有0.6摄氏度,稳定性完全达标。”

陈延森接过报告,翻到数据页,嘴角微扬,露出一抹淡笑。

符合预期就好!

气浮组件是掩膜台运动的核心部件,以前的局面是买不到、造不出。

如今,时代彻底变了!

随后,陈延森看向章延杰说道:“你跟运动控制组对接下,用新的气浮轴承重新做一次整机测试。”

“好,我马上去。”章延杰拿起电脑和测试报告,

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