归国留洋水货?叫我芯片之父!

第229章步进式光刻机成功!

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第229章步进式光刻机成功!(第2/3页)

只是这项工作可不是当天便能完成的,需要四五天的时间,众人接力轮流完成。

“沈工!没问题!”

…

“吴姐还有克勤同志,咱们趁着这几天抓抓紧,将最后的版图验证完成。”

“争取在这台步进式光刻机测试完成后,开启第一次的流片工作。”

到了集成电路,虽然工艺思路上还是‘平面工艺’那套,但实际的工艺和流程会复杂太多。

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晶体管那时还无需“流片”,而到了集成电路这块,流片算是整个集成电路成不成功的决定性标志。

尤其是越大规模的集成,“流片”的难度也会以指数级上升!

…

五天后,国庆的庆典在首都刚过。

今年沈永健同样受到了邀请,只是因为流片的掩膜版工作原因,最终是放弃了出席。

好在首都微电子厂还有张厂长作为代表前去出席,同时厂里的二代电视机也再次成为献礼产品。

一连三年,微电子厂已然成为献礼专业户。

当然,今年国庆献礼之中最亮眼的并非是电视机或者冰箱这种家用电器,而是国内重工业的又一项突破,红旗轿车!

报纸和新闻眼下的话题也全在这款自主生产的汽车上。

只是外界的一些纷纷扰扰,此刻都没法打扰沈永健的工作思绪。

今日的保密研制车间内。

那台银色的庞大机器还在由数人连班接力,日夜不停进行测试。

其中套刻精度测试已经在今早完成。

这会儿上午八点多,研发处的同志因昨日收到通知,已早早再度聚在此处。

当照明均匀性测试的最后一组数据在示波器上定格时,屋外沈永健也带着周克勤等人踏入。

卓邵文才将数据记录,目光便立刻望向他,干裂的嘴唇动了动,带着振奋的沙哑声线在车间内响起。

“畸变率0.12%,场曲误差±0.18微米…”

“沈工!畸变与场曲测试,照明均匀性测试皆达标!”

沈永健接过他手中递来的测试报告数据,一共五项检测,数据悉数达标,甚至个别几项还超过了他设计时的理论预期。

在反复检测之后,沈永健最终点了点头。

在众人希冀的目光下,最终振奋且坚定的开口宣布道。

“同志们,咱们第二代步进式光刻机,研制完成!”

“依照目前的光刻机性能,绝对是国际第一!”

步进式光刻机,一个划时代的光刻机。

在眼下国际上还只有接触式光刻机,甚至发达国家的个别研究所还在用“土光刻机”的背景下。

这台步进式光刻机,绝对是里程碑式的进步。

代表着国内光刻工艺第一次超越各国,坐上国际第

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