第92章56型接触式光刻机制成！
第92章56型接触式光刻机制成！(第2/3页)
几人眼下还来不及高兴，曹文三与曲嵩二人正将预先涂布好光刻胶的硅片交由沈永健装入工件台上。
首件光刻的测试，才是决定这台光刻机能否投入工作，是不是正式制成的关键。
沈永健深吸了口气，尽可能地平复心绪，透过镜头将硅片的复杂电路与掩膜版精确对准。
而卓邵文负责操作精密的真空吸附装置固定硅片和掩膜版。
“x轴偏差0.05微米，y轴…0.03微米…旋转偏差…修正完毕！”
初步手动校准后，完成最后一道电镜的自动校准，沈永健从操作台退后一步。
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“对准完成！准备曝光！”
其余几人同样跟着后退，撤出设备的核心区域，目光跟随着沈永健按下了启动按钮。
嗡——
高压汞灯瞬间点亮，炽白的光线经过复杂的光学系统，穿透掩模版，精准地投射在涂有光刻胶的硅片上。
设备内部传来冷却液循环的水流声和精密机械运转的细微蜂鸣。
预设的曝光时间在紧张而寂静的空气中一秒一秒地流逝。
所有人脸上都不免闪过紧张与期待。
饶是沈永健也一样，他对理论图纸有信心，但最终组装成的设备也没法一次保证能成，万一有个别零件不合格等，都会影响这台精密机器的运转。
“叮！”
终于！
计时器清脆的提示音打破了沉寂，曝光结束。
沈永健立刻上前，小心翼翼地取下硅片。
卓邵文迅速准备好显影液槽，当硅片浸入显影液，经过短暂的化学反应和冲洗后，被放在高倍显微镜下。
沈永健第一个凑近目镜，显微镜视野中，清晰地呈现出一组极其微小的，边缘锐利的线条图案。
正是掩模版上设计的晶体管电路图形！
运气不错！
哪怕是这个不太稳定成功率不高的光刻胶，这次竟也一次便成，将图案精确地转移到了硅片上！
“成了！”
卓邵文紧接着凑上前朝目镜观察，也是第一个在这半夜的研制车间喊出声。
声音因激动而有些沙哑，疲惫的脸上瞬间被巨大的喜悦和难以置信的光芒点亮。
曹文三与曲嵩二人同样兴奋的上前确认。
最后就连刘师傅都在几人兴奋的起哄下，凑近目镜看了眼他完全看不懂的图案，嘴上也跟着激动确认道。
“好啊！这是真整成了吧！？”
…
“是成了！”
沈永健言语中也透着股轻松，56型接触式光刻机，可以说是国内第一台真正的光刻机。
有了第一台的成功，后续的再产便没了压力。
厂里的晶体管车间也具备了真正投入生产的能力！
“小曹，曲嵩，你们俩今晚
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