第42章土光刻机制成
第42章土光刻机制成(第2/3页)
应当是件了不起的大事。
经过反复确认使用效果，目前精度暂时勉强够用。
沈永健长舒了口气，连日紧绷的神经稍缓，拍了拍一旁卓邵文的肩膀。
“邵文同志，辛苦了！这第一步，咱们算是迈出去了！”
“后续等真正的硅晶圆制成后，还有场硬仗要打。”
卓邵文用力点头，眼镜片后的目光依旧紧紧盯着那光斑，心中的激动难以言喻。
要知道这可是光刻机，哪怕在沈永健眼中这机子还算不上真正的一代自制光刻机，但在卓邵文的视角下，这就是真正的第一代。
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“沈工，硅晶圆制成还得多久？”
…
“应该也就这几天吧？硅单晶炉轧钢厂那边零件都已经打造好，这两天正在组装调试，我一会儿就过去。”
“不过正式研制也得是年后了，你在厂里的工作暂时就到这里，余下时间你自己安排就行。”
这种具体的科研工作进行起来，时间总是过得飞快。
眼下日子已经步入二月，距离过年也就四五天的时间。
沈永健等硅单晶炉制成后，也准备给自己歇个几天。
“沈工…我有个请求。”
…
“绍文同志，你有事直说就行，不用这么客气。”
将近一周的时间接触下来，卓邵文的性子他如今是越来越熟悉。
的确是那种让人省心的同志，尤其是作为团队的队员，眼里全是活，且许多事都不需要他提，对方主动便替他考虑到，帮他完成了。
对科研的态度也无比严肃和认真。
唯独一点，就是对他的态度过于严肃和敬重，有种将他当做老师一般对待。
他其实更想与对方像同事或者朋友一般相处。
“我能利用这几天…写一篇您这自制的这‘光刻机’论文么？”
“您放心，这文章署名还是沈工您的…”
不等卓邵文说完，沈永健便已应下。
不就是拿这机器的成果写篇论文么，多大的事。
“行啊！”
“不过你别把自己逼太紧了，文章要真写完了，别忘了把你自己名字也署上。”
…
“沈工，这不合适，我只是想替…替所里总结这个设备研制的思路…”
…
“邵文同志，你不用这样，这台光刻机的研制咱们四人是一个团队的。”
“文章署名自然有你的一份，要是有第三第四作者，你可以把他们俩也带上。”
沈永健本着一个团队人人有份的想法，并未多在意。
毕竟这年头国内连微电子领域都几乎是空白，唯有部分教授与研究员在艰难探索这个领域，109所已经是这个领域的国内领头羊，有他这设备参考也好。
这种自制的“土光刻机”文章要是
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