第369章：权威结论
第369章：权威结论(第1/3页)
在车间纵深处，十二条国际顶级的八英寸与十二英寸全自动超精密晶圆生产线宛如钢铁巨龙般蜿蜒排布。六百余台通体银白、体积庞大的精密光刻机组、等离子体刻蚀机、化学机械抛光机以及纳米级薄膜沉积设备整齐矗立在减震基座上，核心主控面板上的指示灯闪烁着均匀而平稳的翠绿微光，伴随着低沉有力的机械运转嗡鸣。
整座车间不仅没有半点破产倒闭、设备废弃的萧条破败，反而处处透着国际一流先进制程晶圆厂的雄厚工业底蕴与严密秩序！
张院士站在第一条十二英寸全自动晶圆光刻机组前，眼眸深处骤然闪烁起炽热而激动的光芒。
老院士戴着洁净检测手套，快步上前，从随身携带的防震检测箱中取出便携式激光干涉仪、高精度光谱分析仪与专用系统诊断接口，在主控机台前神情专注地操作起来。
邓永飞神色沉静地站在一旁，目光如利剑般扫过车间内每一处技术细节。
“老林，车间的环控与公用工程运行数据调出来了吗？”邓永飞转头低声问道。
老林手里捧着刚刚从车间底层动力控制柜中导出的实时运行数据终端，推了推护目镜，语气中满是难以置信与愤怒：
“主任！全调出来了！这帮人简直是睁着眼睛说瞎话！您看这组温湿度控制曲线和超纯水、特种气体净化系统压力表——整座地下车间的空气洁净度常年维持在国际最高的‘百级标准’，高纯氩气、硅烷气体管路每隔十二小时就进行一次自动巡检自保，超纯水循环泵更是二十四小时不间断满负荷运转！”
老林指着数据面板，声音有些发颤：
“如果真是所谓的‘设备老化磨损、严重技术淘汰、厂区濒临报废’，他们怎么可能每个月耗费上千万元的动力与特气维护费用，维持这么严苛的超净环境？这分明是在用最好的营养液，精心呵护着这批顶尖设备！”
就在这时，站在主控机台前的张院士缓缓直起腰来，摘下护目镜，那双饱经风霜的眼睛里此刻充斥着滔天的怒火，甚至连呼吸都变得粗重起来。
“张院士，这批设备的真实技术状态到底怎么样？”邓永飞沉声问道。
张院士猛地一掌拍在机台旁的防震金属栏杆上，声音因极度的激愤而剧烈颤抖：
“放屁！什么磨损老化！什么建议按残值报废剥离！这帮吃里扒外的混账东西，简直是丧尽天良、祸国殃民！”
张院士转过身来，手指颤抖地指着眼前这台巨大的光刻机组，字字如金石撞击：
“永飞主任！这是国际最新一代深紫外浸没式超精密晶圆光刻机组！我刚才调取了机台底层的核心激光干涉对准数据和过去六个月的晶圆曝光测试日志——这批设备的机械磨损度不足
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