第486章焦虑者
第486章焦虑者(第2/6页)
看向跟著陈学兵的辛梦真。
「这是辛总,以后也是中芯的战友,你直说吧。」陈学兵道。
张汝京这才叹了口气,语气里满是无奈与不易:「哪能不遵守?这台设备能引进来,全靠中芯的国际股东从中斡旋,还有ibm的合同,才勉强通过荷兰方面的出口审批,走的是正规商业采购渠道,不过还得等一项美国特殊许可批下来,才能启运。」
他顿了顿,又补充:「瓦森纳协定的限制不是绝对的,它更像是一种自愿出口管制」,荷兰方面会根据设备用途、采购方背景综合评估,我们当时承诺这台设备仅用于成熟制程研发,再加上外资股东背书,才侥幸获批。」
此时,陈学兵和辛梦真对了个眼神。
「美国特殊许可...不会是veu吧。」辛梦真第一次开口,问道。
「对,你们知道?」张汝京有些惊奇。
中芯申请这项许可是最近的事情,目前还在准备材料。
此时,俩人口罩下的脸都有了笑容。
「193i..你们拿到的是xt1250i还是xt1900i?」辛梦真快速追问。
193i,不是asml一家的专属型号名,而是行业通用技术类别称呼,是193marf浸没式光刻机的总称。
「i」是immersion,浸没式。
浸没式是在投影镜头和晶圆之间填充高纯度去离子水,利用水折射率≈1.44,代替空气n≈1,从而提高有效数值孔径na,提升解析度。
xt:1250i是2004asml的初代193i,na值0.85,是65nm节点的工艺验证和试产机,解析度、产能、套刻精度都不够45nm量产。
而xt:1900i是今年的高na升级款,na值约等于1.35,是45nm量产级主力机.
na值是光刻机镜头的「眼力值」,数值越大,镜头越厉害,能刻的线就越细。
当然,还要双工件台、光源和环境稳定性的配合。
xt:1900i不仅更新了镜头,还采用了新一代双台,替换了高级照明等。
「是xt1900i。」张汝京给出了肯定的答案,而后打量著辛梦真问道:「辛总...不是陈总的秘书?」
「她是香港dct光刻...不,dct医疗的董事长,现在正收购一家香港眼科医疗上市公司,准备研究光学物镜、ct器械,也在申请美国veu。
陈学兵有意说漏了嘴,张汝京一下睁大了眼睛。
这事,不需要全说明白,懂的都懂。
「哦...」张汝京恍然,想了半天,深深点头:「是条路子,陈总,之前我一直以为你是财务型投资人,没想到你想得这么深...误会了。」
陈学兵有口罩遮掩,放
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