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第56章投影式光刻机

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第56章投影式光刻机(第3/3页)

集成电路封装完成,也已经是五天后了。

拿到样品后,实验室第一时间对其进行了功能性验证,结果全部合格。

接下来最重要的事,则是测量其加工精度,最核心的指标是特徵尺寸。

所谓特徵尺寸,打个比方就是笔尖有多细,越细越好,越细就能写出越小的字。

后世常说的晶片采用几纳米工艺,指的就是特徵尺寸。

他们使用的光刻机,理论上已经能加工亚微米级丶也就是从100纳米到1微米级别特徵尺寸的集成电路,但实际效果还不知道。

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