第1084章成了!我无冬大师成了
第1084章成了!我无冬大师成了(第3/3页)
论模拟曲线开始变化,沉积速率、刻蚀选择比、侧壁粗糙度、深宽比,四条曲线在某一个参数区间内同时收敛到了目标范围。
全部收敛。
没有一条跑偏。
盯着那个收敛点看了足足两分钟,然后站起来,在实验室里走了两个来回,又坐下来重新看了一遍数据。
“不对,再来一次。”
重新跑了一遍模拟后,还是收敛。
再调,换一组边界条件。
还是收敛。
夏春秋的手抖厉害了,把椅子往后一推
“成了。”
“成了!”
沉积配比搞定了。
刻蚀气体的选择性搞定了。
循环参数的窗口搞定了。
钝化层和刻蚀步骤之间的切换节奏也他妈的也搞定了。
全搞定了!