第257章從今天開始,遊戲規則變了【求訂閱】
第257章從今天開始,遊戲規則變了【求訂閱】(第3/7頁)
徐銘側過身子看向屏幕,為大家介紹的同時,還不忘在後麵報出三個數字。
「相比較傳統的錫滴發生器和雷射路徑,我們根據基礎物理學的新理論發現,設計出全新的極紫外光源。」
「它的能量轉化效率達34%,熱負載降低87%。
「連續無維護運行時間,理論超過3000小時。」
首次在大會中披露出逐光的詳細數據,幾乎當聲音在會場落下的瞬間,臺下頓時響起陣難以置信的竊竊私語。
溫克姆以及技術官布林克,皆身體前傾,眉頭緊蹙。
身為阿斯麥半導體設備執行長,他太清楚這些數據意味著什麼。
自家公司的工程師,為提升幾個點的轉換效率,降低幾攝氏度的鏡片熱變形付出的代價,在這一刻似乎顯得有些近乎悲壯。
「原來是這樣。」
「難怪他們能解決物鏡係統的短板。」
他回想起華國研發光刻機,在物鏡上麵一直以來的技術落後,先前還在疑惑為何能如此快突破,現在才明白竟是憑借全新的光源係統來進行彌補。
念頭停留在這裡,嘴唇忍不住微動,用僅能身旁布林克聽見的聲音自顧自低喃一句。
「這不是改進,是對光源物理的重新書寫。」
然還冇容他繼續思考,註意力頓時又被臺上,徐銘放出的新內容吸引。
「憑借逐光極紫外光刻機,和璿璣算法工具,以及由我們自主研發的全新一代光刻膠共同配合,首次全鏈路流片驗證便取得圓滿成功。」
「設備綜合利用率98.7%。」
「預測良率98.3%。」
「實際量測良率99%。」
目光盯著屏幕中,那近乎一條直線的波動曲線,溫克姆臉上的自信徹底消失不見。
他下意識地看了眼身旁的布林克,發現後者正捧著筆記本電腦快速敲擊,似乎是在驗算著什麼,並且整個臉色越來越白。
公司最先進的工廠,要打成這樣的穩定性,需要多複雜的自適應調教,多麼漫長的工藝爬坡,他們兩個人可以說都非常心知肚明。
如此小的預測和實際測量誤差,完全違背了他們熟知的工業常識。
卻也說明對方已經具備成熟的係統協同。
毫不誇張的講,他們與海外眾多客戶,數十年磨合建立的共生生態,被這種更高效更封閉的內循環模式挑戰。
關鍵他竟找不到自家的任何優勢。
臺上的徐銘,冇有去關註其他人的反應,在最後他又放出了兩張測試晶片的電子顯微鏡照片。
正是逐光生產的5納米複雜工藝,以及阿斯麥公布的自家7納米流片數據。
「請註意邊緣輪廓與接觸孔底部的形貌。」
徐銘從旁提醒著,隨之調出三維原子探針斷層掃描數據圖揭示細節。
能夠清晰看到,逐
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