第244章流片數據出爐，光刻機主體成功
第244章流片數據出爐，光刻機主體成功(第5/5頁)
進房間，便迫不及待開口彙報。
「徐總師，各位院士領導。」
「晶圓片的光學測量數據結果出來了————」
「直接講吧。」徐銘聞言立刻出聲，把對方的話給打斷。
而這個時候，那位科員人員也冇有耽擱，僅短暫頓了一秒，忙詳細講出報告中的數據。
「根據測量結果顯示，逐光解析度完全達標，光學成像能力優秀，各層圖案對齊良好，另外光刻機的機械精度達到預期。」
當徐銘以及賀鵬濤和丁順安，等微電子裝備科研人員，聽完這番話後，原本懸著的心總算徹底放下，證明逐光國產極紫外光刻機主體研發成功。
標誌著國內終於擁有了，百分之百國產化的，高端極紫外光刻機。
不過大家並冇有在這個時候鼓掌慶祝，反倒是強壓住心中激動，繼續聽後麵的其他流片數據項目結果。
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