第244章流片數據出爐，光刻機主體成功
第244章流片數據出爐，光刻機主體成功(第3/5頁)
潘耀和蘇振豪幾乎同時回應。
緊接著所有科研人員，再次投入到緊張的工作狀態，神情保持著高度專註。
此次流片驗證采用的測試晶片，是一顆不包含複雜功能的專用測試晶片，其版圖由璿璣係統軟體生成。
包括解析度測試圖案，套刻精度標誌，電性測試機構，和特殊監測圖形等。
不多時。
在超淨間外，徐銘和科研團隊，通過觀察窗，看著第一片矽片被送入珠光極紫外光刻機，整個氣氛莊重而充滿期待。
當全係統鏈路功能驗證流片流程開始啟動，嚴格按照璿璣輸出的工藝檔和珠光的標準參數執行，而這個過程也需要一定的時間，需在晶圓片完成製造後，進行光學量測和電子顯微鏡檢測。
或許是看到氛圍太過嚴肅，這個時候一直冇發言的餘高遠，終於舍得主動開口。
「真讓人驚心動魄啊，不知道有多久，冇經曆過這種心情了。」
說這句話時，故作輕鬆的語氣，和臉上堆出的微笑，為大家的情緒增添一些不同的波動。
「大家的壓力確實不小。」賀鵬濤點點頭附和句。
前腳話音剛落，身旁科學院化學研究所的周啟深院士，也接過話茬道：「國家有徐總師這樣的天才，我相信逐光極紫外光刻機，肯定能光刻出良好的各層圖案。」
他比賀鵬濤和丁順安小上幾歲，在光酸劑與樹脂等分子設計，以及合成與作用機理等研究領域，位於國內領先地位。
對國家化學材料的發展，做出過重要貢獻。
此次整合國內資源，成立國家集成電路製造研發創新中心，他所在化學研究所，也被納入整合範圍。
負責國產高端光刻膠的研發工作。
其中值得一提的是，徐銘擅長數學物理甚至信息學科，憑借自身實力和天賦，帶領光刻機和晶片設計軟體，快速實現技術疊代。
以至於經常能在網上看到，又有新的進展新聞。
這對他們光刻膠項目組團隊來講，無疑有著巨大的壓力。
隻能依靠自身。
儘最大努力，保證國產高端光刻膠的研發，做到不拖其他項目部門的後腿。
畢竟大家所在工作屬於一個整體，任何人掉隊都不行。
幸好他們的運氣還算不錯，在首臺逐光極紫外光刻機組裝完前夕，成功合成一種效果更好的光刻膠。
遠超過當前國內的光刻膠水平。
而正當他思維快速運轉，腦海中一直想著流片結果時，耳旁突然響起徐銘的熟悉聲音。
「我們要看的，不是能不能做出圖形，而是現實與預測的偏差，究竟有多少原子。」徐銘看向周啟深院士，神情很是認真的接話，他對流片數據的要求，遠比現場人要高。
如果說其他人的目標，是晶片製造技術，追趕上阿斯麥設備
（本章未完，請點擊下一頁繼續閱讀）