第225章以最強力的方式回應
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第225章以最強力的方式回應
隨著徐銘的話音落下,丁順安院士先是沉思,約摸過去小半分鐘時間,突然像是想到了什麼,猛地抬起頭臉上浮現出欣喜表情。
「好辦法。」
「讓多路雷射同時激發,這樣一來的話,所產生的穩定光源功率定會提升。」
「達到商用的250瓦也就不是問題。」
他對於這次實驗驗證的結果,無疑感到很高興,既證明了徐銘提出的設想可行,又讓大家這幾個月以來的努力冇有白費。但礙於目前國內正遭遇的困境,他太過想要趕緊解決當下局麵。
所以才會對穩定極紫外光源的功率感到遺憾。
畢竟實驗功率,隻有商用數值的五分之一大小,想讓其增長的話,仍需投入大量時間研究。
相當於又延長了國產高端光刻機的研發周期。
但他萬萬冇有想到,這個擔憂的問題,在徐銘口中竟顯得如此簡單。
仿佛隨時就能解決。
關鍵他在腦海中進行研判後,確定可行性很高,若采用徐銘的方法,就算達不到商用的250瓦,也絕對會比現在的數值高出很多。
無疑又是一個巨大的驚喜。
快速回過神來,他有些控製不住情緒,下秒主動向徐銘詢問確認。
「徐總師。」
「是不是你早就想過這個問題了?」
主要從得到驗證數據,到徐銘給出解決方案,前後連兩分鐘都不到,實在讓人無法相信,這是臨時剛想出來的光源功率應對方法。
而丁順安院士的這句話,也成功引起了,現場其他人的好奇目光。
紛紛凝聚過來視線。
連賀鵬濤院士也笑著附和道:「現在啊,我從徐總師口中聽到什麼都不奇怪「」
。
春城光機所研究多少年的核心光源係統,在徐銘這裡隻用幾個月便驗證成功,讓他不免有一種先前都在研究什麼的羞愧感,若早換作徐銘來負責,恐怕現在國產高端光刻機技術早就領先全球嘍。
也不至於搞得像現在這麼被動。
徐銘聽完兩人的話,看向大家的目光,嘴角浮現著淡淡笑容如實回答。
「我確實考慮過光源功率問題,隻是因為多環結構的光源靶盤,設計研發難度會比正常高出不少,為了儘快驗證這項理論設想,才暫時放棄了極紫外光源的功率。」
「有你這句話,我放心多了。」丁順安臉上堆滿笑容連連回答。
既然此方法早就在徐銘計劃裡,說明是經過比較周密嚴謹的推導論證,如此成功率也就有了保障,必然能夠解決穩定光源功率問題。
當高端光刻機最核心的光源係統,其技術被成功攻克並優化效率,那麼後續其它光刻機部分的研究,效率上就會暢快許多飛速進展。
想到用不了多久,首臺國產極紫外光刻機
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