第223章實驗驗證的核心挑戰
第223章實驗驗證的核心挑戰(第2/5頁)
笑著打趣。
賀鵬濤接話道：「我可比你還小一歲呢。」
待互相閒談了兩句後，賀鵬濤突然麵色嚴肅，用非常正經的語氣看向徐銘，重新把話題給引到了正事上麵。
「徐總師。」
「我這邊已經準備妥當，隨時可以開展實驗。」
「微電子裝備也一樣。」丁順安補充道。
徐銘聽完兩位院士的話，又看向兩旁眼中浮現出炙熱目光的教授研究員，也終於不再賣關子，嘴角微微上揚拍板正式做出決定來。
「那好。」
「下麵我來安排具體任務。」
他這幾天沉浸完善設想補充漏洞，正是為了能儘快驗證極紫外光源。
隻要解決了最核心的光源係統，那麼距離國內攻克高端極紫外光刻機也就不遠。
主要高端晶片涉及到的行業實在太多，還關係著很多先進技術的更新疊代，必須用最短的時間走出困境才行。
否則較長時間待在這空窗期內，很有可能會再次被海外拉開差距。
尤其是六代機項目，好不容易才與海外站在起跑線。
既然大家都冇有什麼意見，他肯定也不會耽擱，話音落下後便直接安排起來o
極紫外光源被稱作難以駕馭的微光，海外方麵的主流技術是采用雷射激發等離子體，需要用高功率雷射，以每秒數萬次的頻率轟擊滴下的液態錫滴，將其激發成等離子體從而發出極紫外光源。
但由於過程的能量轉換效率極低，要滿足晶片量產所需要的曝光速度，其功率必須達到250瓦以上，這意味著輸入的能量是巨大的。
除此之外整個光路還要在真空環境中進行，使得係統複雜性大幅度上漲。
再加上錫滴方案產生的碎屑，更讓極紫外光源係統成為科研人員的噩夢。
而徐銘的設想，則是對係統重新架構。
相比較主流方法的動態轟擊液體錫滴，他采取了靜態激發的方案。
用一束高強度和高重複頻率的雷射，照射在高速旋轉的光源靶盤上，如此通過等離激元耦合態理論，雷射能夠在每一點上瞬間激發耦合態，從而穩定以及高效的輻射出極紫外光源。
不但繞過了海外的專利壁壘，還更加高效且規避了錫滴碎屑帶來的苦惱。
有助於延長光源的壽命時間。
隨著徐銘同眾人，在具體實驗上展開討論，原本大家困惑的東西也立刻變得清晰起來。
內心激動之下，毫不掩飾臉上浮現出的期待。
「關於光源靶盤的製造，需要覆蓋特殊薄膜，可以拜托給材料院幫忙研發。」
「其餘我冇有任何意見。」
賀鵬濤全程認真聽完徐銘的所有話，待相關任務安排全部講完之後，率先開口提出自己的觀點表明態度。
話音剛落。
旁邊的丁順安也未沉默，立刻接過話茬附
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