第187章考察日
第187章考察日(第2/4頁)
沈副司長在旁邊微微點頭。他不懂具體的技術細節，但他懂看人的表情。張院士的反應，已經說明了一切。
“走。去看看你們的碳化矽。”沈副司長說。
一行人穿過廠區，來到碳化矽研發中心。
這裡比鈉電車間要安靜得多。無塵服、風淋室，規矩森嚴。
陶安然和周德明正在監控室裡盯著十臺外延爐的運行參數。
陳啟帶著調研組換好防靜電服，走進了觀察走廊。
“陶工。周總監。”陳啟通過對講機喊了一聲。
陶安然，看到玻璃牆外的調研組。她放下手裡的記錄本，走了出來。
“各位領導。這是我們的碳化矽量產測試線。”陶安然的語氣充滿了自信。
王研究員直接走到玻璃牆前，趴在玻璃上往裡看。
“這外延爐。看著眼熟啊。”他指著其中一臺設備。
“是華科精密的舊型號改造的。”陶安然如實回答。
“華科的舊設備？”王研究員愣住了，“那玩意兒的溫場均勻性極差，你們用它來長碳化矽晶圓？”
陶安然冇等他繼續說，直接懟了回去。
“王老。設備是死的，人是活的。”
她走到控製臺前，調出一張溫度場分布雲圖。
“您看看這個。這是我們改造後的熱場實測數據。”
王研究員湊近屏幕。
“徑向溫度梯度。正負0.3度？！”
他摘下防靜電帽，用力揉了揉眼睛。
“這不可能！萊茵科技的最新型號也做不到這個精度！”
“我們做到了。”周德明從車間裡走出來，手裡拿著一個黑色的恒溫箱。
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他把恒溫箱放在走廊的桌子上。打開。
裡麵靜靜地躺著一片六英寸的碳化矽晶圓。
通體透明。冇有一絲雜色。在走廊的冷光燈下，散發著一種近乎完美的光澤。
“這是我們昨天剛切出來的一批晶圓中的一片。”周德明乾巴巴地說，“國家級半導體材料檢測中心的報告昨天也出了。微管缺陷率小於0.1個/平方厘米。”
王研究員顫抖著手，從口袋裡掏出一個便攜式高倍放大鏡。
他湊近那片晶圓。
他摘下眼鏡。拿出一塊眼鏡布，仔仔細細地擦了擦鏡片。
“我乾了三十年半導體設備研究。”王研究員的聲音有些沙啞，“我一直以為，我們在第三代半導體材料上，至少落後國外十年。”
他重新戴上眼鏡。看著那片晶圓。
“我以為我這輩子看不到了。”
他抬起頭，看著陳啟，看著陶安然，看著周德明。
“謝謝你們。”
這位頭發花白的老專家，竟然微微彎下腰，鞠了一躬。
陳啟趕緊上前一步，扶住他。
“王老。使不得。”
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