第407章出題與解題
第407章出題與解題(第2/6頁)
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但nil是接觸式的，是物理壓印！
這意味著，隻要有一個納米級的顆粒掉在模板上，或者在壓印過程中產生，會發生什麼？”
他停頓下來，讓所有人有時間能思考這個問題。
“結果就是，這個缺陷會被模板像圖章一樣，蓋在它接觸的每一個芯片單元上。
更可怕的是，這個顆粒可能會汙染模板，讓模板本身成為一個汙染源，在後續的每一片晶圓上，不斷地、重複地複製這個缺陷。
這不是一個點的問題，而是一條線的、一個麵的災難。
我們稱之為defectpropagation，缺陷傳播。
在德州電子研究所，我們曾經有一個項目，就是因為一次微小的汙染，導致連續報廢了13片晶圓，直接損失超過80萬美元。
佳能的解決方案是什麼？加強清潔，實時檢測。
但這背後意味著生產線需要頻繁地停機、檢測、清洗模板。
其損失的產能和時間成本，會瘋狂地吞噬它在設備采購上省下的錢！
這就是缺陷瀑布，一旦開閘，瞬間衝垮你的良率和成本防線。”
陳磊繼續說道：“然後是材料學的黑箱。
nil技術的核心，除了設備，還有一樣東西，光刻膠，或者說，他們稱之為樹脂。
這已經和我們過去理解的光刻膠有本質的區彆。
這種樹脂的配方是nil工藝的靈魂。
它的粘稠度、流動性、固化速度、與模板的剝離特性，每一個參數都直接決定了壓印的成敗。
而這個配方，是佳能的絕對機密，是他們與合作的化學企業共同開發的，這意味著什麼？”
陳磊的目光變得銳利起來：“意味著我們一旦選擇了nil路線，就不隻是買了一臺機器，而是將自己捆綁在了佳能的生態係統上！我們必須持續購買他們指定的、昂貴的、專利保護的樹脂。
我們想自己研發替代品？難度極大，因為我們不知道他們的機器參數是為怎樣的樹脂特性服務的。
我們想更換供應商？對不起，彆的供應商冇有經過佳能的驗證，出了問題他們概不負責。
林總，您明白嗎？我們這是從asml的硬件壟斷，跳進了佳能的硬件加耗材的雙重鎖定裡！這在戰略上是極度被動的。
當然這次他們會轉讓技術，我們受到的限製就隻有耗材，可這也同樣嚴重。
我們很難繞開耗材，這是他們二十年的積累，隻有靠時間磨，彆無他法。”
一位隨行的技術官員忍不住開口問道：“陳博士，那套刻精度呢？佳能展示的數據，他們的層間對準精度非常高。”
陳磊看向他，搖了搖頭：“這正是接下來要說的第三個陷阱，累積誤差。
是的，在少數幾層的疊加中，nil的套刻精度看
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