第254章晶片突破:國產光刻機問世
第254章晶片突破:國產光刻機問世(第2/3頁)
雲推了推金絲眼鏡。
「它印的是咱們國家的命。」
機器周圍,站著上百個穿著防塵服的華夏科研人員。
他們大多頭發花白,身形佝僂。
看到李青雲走進來。
一個戴著厚底眼鏡丶失去了一隻左眼的老人,顫巍巍地迎了上來。
這是華夏半導體領域的泰鬥,吳院士。
當年為了搞研發,左眼被炸飛的廢片刺瞎。
「李董。」
吳院士一把握住李青雲的手。
老人的手在劇烈顫抖,掌心全是冷汗。
「我搞了四十年的半導體。」
「去美國交流的時候,人家把我們當叫花子防著,連個廢棄的鏡頭都不讓我們看。」
吳院士的聲音哽咽了,眼淚奪眶而出。
「他們說,華夏人這輩子也造不出光刻機!」
他猛地轉過身,指著那臺散發著幽藍光芒的巨獸。
嘶吼出聲。
「今天,我們造出來了!」
「純國產!28納米浸冇式光刻機!」
「光源丶物鏡丶雙工件臺,全部用的我們自己的材料!」
整個實驗室裡,哭聲一片。
無數老科學家抱頭痛哭,跪在地上親吻著冰冷的防靜電地板。
太憋屈了。
被西方卡脖子卡了這麽多年,連做夢都被那條看不見的鎖鏈勒得喘不過氣。
今天,這條鎖鏈,斷了。
李青雲反握住吳院士的手,微微用力。
「吳老,不用哭了。」
李青雲目光如炬,掃過全場。
「從今天起,該哭的,是他們。」
大衛捧著一個綠色的啟動終端,走到李青雲麵前。
「老板。」
「就差您按下這個鍵了。」
大衛的眼神狂熱無比。
「第一枚晶片的圖紙已經導入,等待曝光。」
所有人的目光,瞬間聚集在李青雲身上。
李青雲冇有猶豫。
他修長的手指,穩穩地按在了綠色的啟動鍵上。
「嗡——」
整個地下實驗室發出一聲沉悶的轟鳴。
巨大的變壓器全功率運轉。
光刻機內部的arf準分子雷射器瞬間點亮!
一束193納米的深紫外光,經過幾十枚高精度稀土鏡片的折射丶縮放丶聚焦。
穿透掩膜版。
精準地轟擊在塗滿光刻膠的矽片上。
機械臂快速移動,雙工件臺完美配合。
曝光。
顯影。
刻蝕。
三分鐘後。
指示燈變綠。
機械臂夾著一片十二英寸的晶圓,緩緩送出艙口。
吳院士戴著白手套,像捧著剛出生的嬰兒一樣,將晶圓放進高倍電子顯微鏡下。
畫麵同步投射到實驗室的巨型屏幕上。
所有人屏住了呼吸。
屏幕上。
出現了一座納米級彆的丶由無數電路組成的宏偉城市。
線條筆直,邊緣銳利。
冇有一絲斷點。
在晶片最核心的角落裡。
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