第1013章我吃的就是兄弟!青春永駐?行!延壽不行!
第1013章我吃的就是兄弟!青春永駐?行!延壽不行!(第1/5頁)
第1013章我吃的就是兄弟!青春永駐?行!延壽不行!
廬州,星源科技總部。
潔淨室入口的空氣鎖在發出低沉的「嘶啦」聲,待氣壓平衡後,厚重的玻璃門緩緩向兩側滑開。
所有人都換上了全套無塵服,陳延森第一個跨進去,身後跟著梁勁鬆、林南、汪象朝,以及兩名高級光學工程師。
一進主工藝間,整片區域便被昏黃的燈光所籠罩,這是euv光刻機專用的黃光環境,避免常規白光對光刻膠造成非預期曝光。
大廳正中,三臺破曉a3xeuv光刻機一字排開。
它的機身比上一代a220更高、更長,主體采用深灰與啞光黑的撞色設計,表麵幾乎看不到外露的管線與接頭。
機器頂部的環形散熱帶微微發亮,內部的冷卻液正在持續循環,從而帶走光源工作時產生的巨大熱量。
陳延森在三米外站定,望著機身表麵印刷的兩個字,不由地怔怔出神。
三年前,全球九成以上光刻機的外殼上都印著「asml」的品牌名,如今則全都換成了「破曉」。
這份從追趕至超越的滋味,恐怕隻有深耕半導體行業的人,才能真正體會到。
這幾年,星源科技的工程師拿著高額出差補貼,奔赴歐美各地,為破曉光刻機安裝調試、提供售後,也算親身體驗了一把當年歐美工程師的待遇。
甭管設備出什麼問題,廠家都得開出高價、包往返機票與住宿,才能享受到合同約定的檢修服務。
敢私自拆機?
合同立刻終止!
哪怕設備隻移動一米,都必須提前報備,否則係統會直接遠程鎖機。
在光刻機領域,星源科技但凡輕咳一聲,全球所有晶圓廠都得跟著震一震。
「老板,這就是一號機。」
梁勁鬆上前半步,指著麵前的設備說道:「上周五完成了最後一次全係統自檢,各子係統均綠燈通過,目前已累計運行時長超120小時,無任何故障提示。」
陳延森微微點頭,目光落在設備底座的減震平臺上。
底座采用特製花崗岩與碳纖維複合結構,平臺邊緣鑲嵌著一圈細密的雷射乾涉儀,可實時監測整機姿態,精度達到亞納米級。
再往上,是錫等離子體光源腔。
腔體外壁密布著高壓氙氣放電管與輔助磁約束線圈,透過觀察窗,仍能看見內部殘留的一圈圈幽藍輝光。
「光源的collector鏡組,有冇有出現鍍膜剝落?」
陳延森忽然開口問道。
梁勁鬆立即答道:「冇有!我們將第四代collector鏡的鉬矽多層膜厚度優化到了68.4納米,駐波效應抑製效果大幅提升。
上一批連續轟擊測試中,累計輻照劑量達到設計壽命的1.8倍,膜層反射率衰減僅
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