第436章光刻機投入生產
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,想封鎖龍國的芯片之路?
門都冇有。
正想著,手機震了一下。
彈出來一條遊戲消息,“指揮官,龍國方麵希望追加訂購6臺asml極紫外光刻機(euv),5納米製程,請示是否可以安排。“
6臺。
加上此前已經交付的4臺,一共就是10臺了。
江北手指在屏幕上敲了幾下,回複道:“龍國方麵什麼時候需要?“
“一個月內。“
“可以回複冇有問題。“
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回複完消息,江北放下手機,發動了車子,前往公司。
同一時間。
華為,深圳總部。
一棟冇有掛牌的灰色建築,從外麵看,和普通寫字樓冇什麼區彆。
門口冇有華為的標識,安保卻嚴密得如同鐵桶,進出需要人臉識彆、虹膜驗證和動態密碼,三重認證。
建築地下三層,是一間代號“昆侖“的秘密實驗室。
實驗室麵積不大,約四百平方米,乾淨得近乎無菌。
恒溫恒濕控製係統將溫度精確維持在22±0.1c,空氣中的微粒數被控製在每立方米不超過100個。
實驗室中央,一臺銀灰色的龐然大物靜靜矗立。
asml最新一代極紫外光刻機,euv。
這是江北在一個月前向龍國交付的第一臺光刻機,經過拆卸、運輸、重新組裝和無數次調試後,它終於在這間地下實驗室裡運轉了起來。
光刻機周圍,十幾名工程師圍在一排監控屏幕前,屏幕上跳動著密密麻麻的數據流,曝光能量、晶圓對準精度、光刻膠厚度、數值孔徑、焦深參數……
每一個數字都牽動著所有人的神經。
“流片開始。“項目負責人周博遠深吸一口氣,按下了啟動鍵。
光刻機低沉地嗡鳴起來。
極紫外光以13.5納米的波長,透過精密反射鏡組,一層一層地將電路圖案蝕刻在矽片上。
時間一分一秒地過去。
實驗室裡安靜得隻剩下設備運轉的嗡嗡聲和偶爾的鍵盤敲擊聲。
一個小時後。
第一片晶圓完成。
檢測工程師趙琳將晶圓送入電子顯微鏡,開始逐區掃描檢測。
屏幕上,芯片電路的結構圖像一層層展開,如同在放大鏡下觀察一片精密的微縮森林。
趙琳的手指在鍵盤上飛快地敲擊,統計著每一顆芯片的良品數據。
十分鐘後,趙琳抬起頭。
她的嘴唇微微顫了一下,“良品率……“趙琳聲音有點發顫,“80.3%。“
實驗室裡安靜了兩秒,然後——
歡呼起來。
“成了!“
“80%!我們做到了!“
“天哪,80.3%!第一輪流片就到了80%!“
工程師們從座位上
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