第二百四十四章舉國之力的產物
第二百四十四章舉國之力的產物(第1/5頁)
七月初，海灣科技再一次給徐申學報喜，說是已經研發出來了duv乾式光刻機的樣機，正準備進行第一次開機測試。
得到這個消息後，徐申學推掉了其他的行程，當天就去了海灣科技。
抵達海灣科技後，王道林一臉喜色的帶著徐申學參觀了他們最新的研發成果：一臺完全自研的duv乾式光刻機。
“從光源係統到物鏡，再到機臺等所有的子係統整合以及部分關鍵零部件，都是由仙女山控股旗下或柳河投資，智雲科技旗下的兄弟公司所提供，此外這些子係統的背後所需要的眾多零部件，除了我們自家的兄弟公司外，還有其他超過一千多家國內企業供應。”
“參與這個項目研發的企業數量，直接或間接達到了接近兩千家，各類研究所一百多家，還有十多所著名高校也都參與了進來！”
王道林說著的時候，激動中更帶著感歎：“這可是真正的舉國之力才能搞出來的頂級設備啊！”
“我們硬是靠著一家之力，做到了整個歐美日韓整個西方體係整合起來才能做到的事情，這難度，比單純研發一個光刻機更難。”
“如果是依托全球產業鏈，搞這東西雖然技術難度很高，但是我們要做的也隻是係統整合工作而已，難度雖然有，但是不至於有什麼代差，給我們asml的零部件供應商，我都敢放話，最多一年時間就能夠弄出來duv浸潤式光刻機甚至進軍euv光刻機！”
“但是我們冇有這些全球範圍的供應商啊，所以很多東西都隻能自己在國內找，實在找不到就隻能自己從頭研發！”
“duv光刻機的全部國產化，其難度大的驚人！”
“很多東西都要從原材料開始研發！”
王道林說著的時候，一旁的南江科技的研發部門負責人曹星辰也是接上了話頭：“不錯！”
“我們公司是搞物鏡，為了這個duv光刻機的物鏡，我們是從材料到加工工藝，全都是重新搞的！”
“我們南江科技主導，還拉著一大票研究所，合作企業，同時展開了數十個新材料研究項目，挨個測試各種材料並對材料進行針對性的改進。”
“最終花了兩年多時間，這才弄出來了堪用的材料！”
“但是弄出來材料還不行，然後還得加工啊！”
“這加工更難！”
曹星辰說的時候，也是回想起來了之前的研發困境，不由得感歎：“光刻機所需要的鏡片精度是非常高的，通常需要達到波長的五十分之一，比如我們這duv乾式光刻機的光源波長是193納米，五十分之一就是三點八六納米！”
“這種精度的加工，幾乎超過普通人的想象！”
“而我們南光之前在生產i-line光刻機鏡片以及krf光源
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