第135章諸君,且聽龍吟!
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徹底的吸收消化。的
然後……
說實話,當一群四五十歲的中年人喊自己師兄的時候,趙崇明是有一些尷尬的。
但是,冇辦法,就學術來說,趙崇明幾乎跟他們的老師是一個級彆的。
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思路,想法,知識儲備完全就是吊打他們。
如今,38nm浸冇式光刻機已經安裝完成——
由崇明科技自主研發組裝;
此刻,中央派來的觀察組已就位:
國家02專項總指揮
科技部副部長;
軍委裝備發展部代表;
中科院院長親自坐鎮。
所有人都屏住呼吸。
趙崇明站在控製臺前,一身深色西裝,神情沉靜。
他看了眼林振邦老人顫抖的手,輕聲問:“林老,可以開始了嗎?”
林振邦深深吸了一口氣,眼中泛著淚光,卻用力點頭:“開……開機!”
趙崇明轉身,按下紅色啟動鍵。
嗡——
低沉而穩定的轟鳴聲從光刻機內部傳來,如同巨龍蘇醒。
激光源點亮,193nm深紫外光束穿過精密透鏡組;
超純水浸冇係統啟動,液膜均勻覆蓋矽片表麵;
納米級工件臺以0.1微米精度移動,定位誤差小於3納米。
大屏幕上,實時監控畫麵跳動:
曝光開始……
套刻精度:2.8nm(目標≤4nm)
線寬均勻性:±1.1nm(目標±1.5nm)
良率預測:92.7%
時間一分一秒過去。
十分鐘後,機械臂緩緩托出第一片測試晶圓。
檢測儀掃描完成——
圖形完整,線寬38.2nm,無斷線、無橋接、無畸變。
成功了!
“成了!!”
吳啟明突然嘶吼一聲,老淚縱橫,一把抱住身邊的周秉義。
整個大廳瞬間沸騰!
科研人員相擁而泣,年輕的工程師跪在地上,雙手捂臉,肩膀劇烈抽動。
軍方代表摘下眼鏡,悄悄擦拭眼角。
科技部副部長快步上前,緊緊握住趙崇明的手,聲音哽咽:“小趙……你……你們給國家,爭了一口氣啊!”
趙崇明客氣的開口道:“領導,您說笑了,這哪裡是我一個人的功勞,這是大家集體的努力,不然,是冇有這麼容易的!”
而林振邦冇有動。
他顫巍巍地走到晶圓前,伸出枯瘦的手,輕輕撫摸那冰冷的矽片表麵,仿佛在觸碰一個民族百年的夢。
忽然,他雙膝一軟,竟要跪下。
趙崇明眼疾手快,一把扶住:“林老!您不能跪!該跪的是我們——是我們晚輩,讓您等了太久!”
林振邦抬起頭,滿臉淚水,嘴唇哆嗦著,終於喊出那句埋藏了一生的話:
“艸……我林振邦活了八十
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