第87章震驚的京城，國家最高級彆科技
第87章震驚的京城，國家最高級彆科技(第1/3頁)
第87章震驚的京城，國家最高級彆科技機密
三天後。
某保密會議室，氣氛凝重如鐵。
沙瑞金呈報的《關於漢東省崇明科技突破38nm光刻機核心技術的緊急報告》被擺在長桌中央。
國防科工局、工信部、中科院、國家大基金負責人圍坐一圈，人人麵色肅然。
“47項底層核心專利……繞開asml全部封鎖節點……”
一位白發老者推了推眼鏡，聲音微顫：“這要是真的，中國芯片產業的曆史，今天就要改寫。”
會議僅持續四十分鐘，結論卻石破天驚：
一、列為國家最高級彆科技機密（絕密·芯盾級）；
二、成立“02專項·光刻機突擊組”，由中科院院士牽頭；
三、趙崇明所需一切資源——人才、設備、資金、政策——全國優先保障，漢東省委全力配合。
末了，一個大領導隻說了一句：
“告訴那個年輕人——國家等這一天，等了三十年，這一次，我們將領先世界！”
……
……
漢東，南湖機場。
一架軍用運輸機悄然降落。
艙門打開，七位白發蒼蒼的老者魚貫而出，身後跟著二十多名中青年學者，人人拎著筆記本電腦與厚重資料箱。
領頭者是林振邦院士——華夏半導體物理奠基人之一，86歲，拄拐而行，眼神如炬；
其側是周秉義教授——清華精密儀器係前主任，雙工件臺領域泰鬥；
再旁是吳啟明研究員——中科院光電所首席，浸冇式光學係統權威。
他們直奔崇明科技總部，未作休整，徑直來到了趙崇明的辦公室。
趙崇明已在門口等候。
“你就是趙崇明？”
林振邦上下打量這個24歲的年輕人，語氣不善：“聽說你聲稱掌握了38nm浸冇式光刻機全套技術？”
“是。”趙崇明平靜回應。
雖然對方語氣不善，但是，到底也是86歲的老大爺，而且，不誇張的說一句，這是真正的國士無雙。
自己客氣一點也是應該的。
林振邦問道：“你弄得這些專利，這些理論都是你弄出來的？”
“我自己也組建了一個團隊！”趙崇明笑了笑。
“好！”
周秉義一步上前，語速如電，“我問你——雙工件臺在500mm/s高速運動下，如何抑製納米級振動耦合？你的磁懸浮線圈布局是幾極？反饋延遲多少納秒？”
趙崇明不假思索：“六極halbach陣列，主動阻尼+預測控製，延遲≤12ns。”
吳啟明立刻接話：“浸冇流體在晶圓邊緣的marangoni效應如何補償？”
“動態密封環+局部溫度梯度調控，附圖見白皮書第38頁。”
“光學像差校正用zernike多項式到幾階？
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