第86章送政績，沙瑞金的羨慕：德漢，
第86章送政績，沙瑞金的羨慕：德漢，(第2/3頁)
機集成與對準係統：11項多模塊協同、晶圓-掩模同步。
光學係統：采用非球麵反射+多層鍍膜技術，數值孔徑na=1.35；
工件臺：納米級定位精度±1.5nm，速度達500mm/s；
控製軟件：全自主開發，支持實時誤差補償；
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關鍵突破：繞過asml核心專利，構建平行技術路徑。
47項專利看起來並不多，asml一臺euv光刻機，涉及超10萬項專利，但是，趙崇明的47項基礎性、不可繞過的底層核心專利”，這是足以構建自主技術路徑，規避asml專利牆，實現“合法國產化”。
他一頁頁翻看，手指微微發顫。
“這……是真的？”沙瑞金抬頭，眼中震驚難掩：“能打破《瓦森納協定》封鎖？”
“不是能，是已經。”
趙崇明笑吟吟的開口道：“樣機正在組裝，其中絕大多數的零件，我可以這麼說都可以在國內實現生產，當然，一些關鍵的零件還是需要進口，我的計劃是這樣的，儘量國產，能不進口就不進口！”
沙瑞金問道：“什麼時候能組裝起來？”
趙崇明微笑道：“明年一季度可完成工藝驗證，一旦成功，中國將首次擁有自主可控的duv光刻能力。”
他頓了頓，聲音加重：“但這隻是開始。”
沙瑞金頓時亢奮了：“你說！”
趙崇明繼續道：“我計劃以光刻機為核心，在漢東建設完整半導體產業鏈——
上遊：特種氣體、光刻膠、矽片；
中遊：芯片設計、製造、封測；
下遊：手機、汽車、工業控製終端。
三年內，打造千億級產業集群。”
沙瑞金沉默良久，忽然問：“為什麼選光明峰？”
趙崇明指向附圖：“單宗500畝以上、雙回路供電、地下水位低、地質穩定——全漢東，隻有光明峰滿足class10潔淨廠房建設條件。”
沙瑞金撓了撓頭，他也是理工科出來的，一些道理也不需要詳細說明，當下點點頭道：“好，這冇問題！”
趙德漢適時補充：“沙書記，這不是崇明科技一家的事。漢東已經慢慢的從地產依賴轉向製造立省，但是，我們還是缺乏一個更好的契機，我們是不是可以打造漢東智造，喊出漢東科技的口號呢？”
沙瑞金深吸了一口氣，感覺到未來就在眼前。
太清晰了。
當下，沙瑞金轉身，目光如炬：“如果我把地給你，你能保證什麼？”
趙崇明毫不猶豫伸出了三根手指。
“第一，首臺工程樣機2008年12月31日前點亮！”
“第二，三年內
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