第56章投影式光刻機
第56章投影式光刻機(第2/3頁)
「你嚇我一跳，我還以為哪出問題了呢！」章立軍苦著臉道。
徐衛國輕哼一聲，「你們嚇唬我，就不許我嚇唬你們？……行了，都回去休息吧！休息好了再回來工作。」
「我們不困，現在就安排生產集成電路樣品試試唄？」
「對啊，我們還能扛！」
徐衛國揚了揚手，道：「行了行了，機器都做出來了，不差這一天。明天吧，明天再開始吧！」
這年代集成電路的生產過程還是很漫長的，尤其是集成的電子元器件越來越多，從一塊矽片到變成封裝好的成品，實際生產過程常常需要數周。
當然，其中大部分時間都耗費在了各個流程之間的準備等待過程中，而真正製造過程耗費的時間，則大概要十幾個小時。
……
轉眼到了第二天，徐衛國來到單位後，使用新設備的集成電路樣品試生產工作正式開始。
製造集成電路，隻有光刻機當然是不夠的，還需要薄膜沉積設備丶刻蝕設備丶摻雜設備丶清洗設備丶檢測設備丶封裝設備，總共六大項。
這六類設備在他們研究所有不同實驗室負責，都是幾十人的小團隊。
從它們的複雜程度跟研製難度來說，自然是遠不及光刻機的，去年底的時候就已經完成了研發。如今光刻機也做出來了，那麽集成電路的製造工作也就打通了全技術鏈條。
徐衛國首先前往各相關實驗室，布置任務。
晶圓他們有現成的，這東西能長期儲存，不需要再從石英砂開始生產了。
集成電路版圖設計圖紙也有現成的，直接用新款計算器上的同款，畢竟他們隻是要驗證生產設備的功能，暫時不需要集成那麽多電子元器件。
真正開始的第一步，是根據電路版圖製造掩模。
因為電路版圖已經相當複雜，已經不可能再像初期那樣手工製造掩模，必須使用一種新設備，圖形發生器。
這東西就是一個將電路設計圖「雕刻」到掩模版上的設備，其中還需要用到高性能計算機，其原理就是使用計算機將版圖設計文件分解成簡單的基本圖形單元，隨後計算機控製可變矩形光闌的矩形孔不斷變化方向跟大小，在這個過程中光源照射矩形光闌，對其進行曝光丶最後在掩模版上拚接成完整圖形。（可變矩形光闌是由金屬刀片組成的，開口大小可調整的矩形孔）
此時的圖形發生器使用的是純光學方法，效率很低，後世已經采用雷射直寫技術。
完成掩模製造後，接著就要拿去做薄膜沉積丶繼而光刻丶隨後刻蝕丶離子註入，晶圓測試，封裝。
為了儘快拿到集成電路樣品，徐衛國給各實驗室安排好了時間表，晚上也不停，人跟著製造流程走。
就在這樣不間斷的工作下，等第一塊
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