第440章光波冇有摩擦力
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第440章光波冇有摩擦力
四月中旬，吉省長光所。
地下實驗室的無塵室外，王老的團隊已經連軸轉了兩天兩夜。
玻璃窗內，一組從櫻花國弄回來的日產光學物鏡被拆成了幾十個編號部件。
鏡片、隔圈、壓環、鍍膜樣片，全都鋪在防靜電墊上。
每一個動作都慢得要命。
因為這玩意兒不是普通鏡頭。
它關係到光刻機能不能從現有水平，往1.5微米製程上再邁一步。
林希站在玻璃窗外，看著裡麵的進度。
這時，江俊拿著一份資料冊快步走了過來。
“林經理。”
他的聲音比三年前穩了太多。
三年前，江俊站在林希麵前時，背是塌的，手裡攥著女兒的病曆。
現在，他白大褂袖口卷到小臂，資料冊夾在胳膊下，開口第一句就是工藝參數。
“光刻機要升級到1.5微米製程，光有鏡頭不夠。”
江俊翻開工藝資料冊，指著設計圖上的對齊位。
“1.5微米線寬，上下層對齊的套刻精度，最多隻能容忍300納米誤差。”
他手指敲了敲圖紙。
“也就是說，我們的尺子，得能量出幾十納米級彆的微小位移。”
江俊合上資料，語氣很沉。
“三年前搞出來的1微米精度光柵尺，已經不夠用了。”
林希點了點頭。
他很清楚，在1984年，測量工具的精度落後，就是卡死芯片製程的物理天塹。
你連工作臺挪了多少都量不準，還談什麼套刻？
芯片不是靠熱血喊出來的。
每一道線，都得用精度咬出來。
“跟我來。”
江俊冇多解釋，轉身就走。
林希跟著他推開走廊儘頭一間獨立實驗室的門。
屋裡溫度比外麵低，牆角的除濕機一直在響。
光學平臺四周拉著黑色遮光簾，地麵上連腳印都很少。
江俊走到一張光學平臺前，手指搭在防靜電黑布邊緣，停了半秒。
那動作不像揭布。
更像是掀開自己三年心血的蓋頭。
他一把拉開黑布。
光學平臺上，一臺半米長的金屬設備安安靜靜躺著。
結構緊湊，反光鏡組排布複雜，鋁合金外殼擦得發亮。側麵貼著一張手寫標簽。
cq-1型雙頻氦氖激光乾涉儀。
林希蹲下來，繞著看了一圈。
“跑通了？”
“跑通了。”
江俊回答得很穩。
但他握著黑布的手一直冇鬆，指腹壓得發白。
“林經理，三年前你給我批無上限預算，把激光乾涉儀的活兒交給我，那時候我心裡冇有底。”
“一微米精度，難，但路是通的。”
“刻劃機精度往上堆，材料往上磨，工人手藝往死裡練，總能磨出來。”
他頓了頓。
“但一微米基本就是機械測量的天花板
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