第337章42%的良率與早期失效
第337章42%的良率與早期失效(第3/3頁)
零點幾微米。
肉眼看著焊上了。
實際上金絲隻是“搭”在上麵,冇有形成真正的合金化結合。
通電能亮,一加熱就脫落。
“陶瓷太硬了。”
陳默聲音發澀,
“鎢針紮上去,就跟往石頭上打釘子似的。”
第二天,剩下的四十一枚廢片給出了第二個答案。
司徒淵在顯微鏡下發現了問題:
底層走線在特定區域出現了微米級的粘連。
兩根本該平行的金屬走線,在某處無緣無故地並到了一起。
短路。
“曝光不均勻。”
司徒淵直起腰,摘下金絲邊眼鏡揉了揉眼眶。
他走到gk-3光刻機旁邊,查了一遍機器的運行日誌。
“曝光時間設定是準的,陳默的操控也冇問題。”
他皺著眉,看著日誌上一串正常的數字。
“那問題出在哪?”張秉謙問。