第309章手測參數註入數控大腦
第309章手測參數註入數控大腦(第2/3頁)
中點的直線度偏差是多少？”
陳默連翻都冇翻。
“0.8微米，偏左。”
江俊敲入補償值。
伺服電機嗡了一聲，工作臺微微平移。
屏幕上的讀數跳了一下，歸零。
“y軸呢？”
“1.2微米，偏下。”
“行程末端有個0.3微米的回程間隙，要單獨補。”
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三百九十五個參數。
陳默一個一個報，江俊一個一個錄。
冇有人翻筆記本。
全在陳默腦子裡。
三年，一百八十六次保養。
每一次保養都要重新測量、重新記錄。
數據早就刻進骨頭裡了。
直播間彈幕滾動：
【這人是活的數據庫啊。】
【三年不是白守的，他把整臺機器背下來了。】
【人形激光乾涉儀，比機器還精密。】
下午三點，全部補償參數錄入完畢。
江俊做最後一項測試：
讓工作臺在全行程範圍內往返運動。
光柵尺實時采集位置數據。
屏幕上，一條綠色的曲線緩緩展開。
平直。
偶爾有微小的波動，但伺服電機在零點幾秒內就把它拉回來。
“全行程定位精度，”
江俊盯著數據，聲音有點發緊，
“正負3微米。”
陳默靠在機器旁邊，慢慢滑坐到地上。
他冇哭。
他笑了。
笑著笑著，把臉埋進膝蓋裡。
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光刻機活了。
但活過來隻是第一關。
三天後，第一批試製矽片進入濕法刻蝕環節。
刻蝕槽是陳默用不鏽鋼焊的，簡陋但乾淨。
酸液配方按照教科書上的標準比例調配。
第一片矽片放進去.
計時，取出，純水衝洗，推到顯微鏡下。
江俊看了一眼，臉色變了。
“側蝕太嚴重。”
他讓開目鏡，林希湊上去看。
5微米的線條，被酸液從兩側啃進去將近2微米。
剩下的線寬不到1微米，有些地方已經斷了。
換配方，提高酸液濃度。
第二片，斷線更多。
降低濃度，縮短時間。
第三片，溝槽底部冇刻透。
連續三個通宵。
十七種配方。
冇有一片合格。
第四天淩晨，刻蝕車間裡彌漫著酸霧的味道。
陳默靠在牆角打盹，江俊的眼睛布滿血絲。
林希坐在角落，閉上眼睛。
腦海裡，直播間的畫麵亮了起來。
他把問題原原本本地說了一遍。
彈幕沉默了十幾秒。
然後一個id冒了出來：【材料狗不睡覺】。
【彆用純hf。】
【現在的光刻膠耐酸性差，純氫氟酸刻蝕速率太快，根本控不住側向鑽蝕。】
緊接著，第二條彈幕：
【加nh4f做緩衝
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