第308章給光刻機裝“眼睛”
第308章給光刻機裝“眼睛”(第3/3頁)
體晃了一下。
他當然知道。
這個問題困擾了整個109會戰團隊兩年。
他師傅為了解決這個死區。
在顯微鏡前連續坐了七十二個小時。
左眼的視網膜就是那時候脫落的。
最後也冇解決。
林希從公文包裡抽出一張圖紙，展開鋪在行軍床上。
圖紙上畫著一套改造方案。
xy工作臺兩側，各加裝一條光柵尺。
光柵尺的信號接入一塊數字控製板。
控製板驅動兩臺微型伺服電機。
替換原有的手搖蝸輪。
“紅星和長光所聯合自研自產的光柵尺，分辨率1微米。”
林希用筆尖點著圖紙，
“配合閉環伺服控製。”
“絲杠的累積誤差，在每個采樣周期內實時補償。”
他看向陳默。
“你的機器什麼都好。”
“光學係統是王老定的方案。”
“底座經過四年自然時效，主光路冇跑偏。”
“它就差一雙眼睛。”
“現在，我把眼睛給它裝上。”